測(cè)量圖像缺陷檢測(cè)的靈敏度可以通過(guò)以下步驟進(jìn)行:
1. 制作參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換:
基于參照?qǐng)D像數(shù)據(jù),在多個(gè)方向上計(jì)測(cè)圖案的寬度。
將參照?qǐng)D像數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為與圖案在各方向上的寬度相對(duì)應(yīng)的亮度,制作多個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù)。
2. 比較并制作圖像數(shù)據(jù):
比較多個(gè)掃描圖像數(shù)據(jù),從中選出最小亮度的數(shù)據(jù),制作寬度圖像數(shù)據(jù)。
3. 缺陷部分抽取與判定:
基于被檢查圖像數(shù)據(jù)與參照?qǐng)D像數(shù)據(jù),抽取缺陷部分。
在圖案寬度達(dá)到最小亮度的方向上,測(cè)定缺陷部分的尺寸,并將其轉(zhuǎn)換為亮度,制作缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)。
基于缺陷尺寸圖像數(shù)據(jù)與寬度圖像數(shù)據(jù),對(duì)缺陷部分進(jìn)行缺陷判定。
4. 利用特定算法評(píng)估:
可以采用如利用被測(cè)試像素與其相鄰像素之間的距離、基于每個(gè)像素周?chē)袼貕K的中值、或利用圖像中的局部離散參數(shù)進(jìn)行評(píng)估和分析等算法,來(lái)進(jìn)一步確認(rèn)和測(cè)量圖像缺陷檢測(cè)的靈敏度。
5. 考慮絕對(duì)與相對(duì)靈敏度:
在某些情況下,如射線(xiàn)照相法探傷,還可以考慮絕對(duì)靈敏度和相對(duì)靈敏度的概念。絕對(duì)靈敏度是指在射線(xiàn)照相底片上能發(fā)現(xiàn)的最小缺陷厚度尺寸,而相對(duì)靈敏度是指發(fā)現(xiàn)的最小缺陷尺寸占射線(xiàn)穿透工件厚度的百分比。這一思路也可以類(lèi)比應(yīng)用于圖像缺陷檢測(cè)中,通過(guò)度量能檢測(cè)出的最小缺陷尺寸來(lái)評(píng)估靈敏度。
測(cè)量圖像缺陷檢測(cè)的靈敏度是一個(gè)多步驟的過(guò)程,涉及圖像數(shù)據(jù)的處理、算法的應(yīng)用以及靈敏度的度量。