深度學(xué)習(xí)技術(shù)的缺陷庫(kù)讓半導(dǎo)體缺陷剔除并提高產(chǎn)量

在整個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,機(jī)器視覺(jué)用于嚴(yán)格地監(jiān)控質(zhì)量和查找缺陷。制造商必須重視針腳掛擦、扭曲、彎曲或缺失等情況。

芯片容錯(cuò)率很低,市場(chǎng)廣闊,制造商們都在拼質(zhì)量來(lái)獲得訂單,如果存在任何缺陷,即使是在外表層,也會(huì)使芯片成為廢品。

因?yàn)榭赡艹霈F(xiàn)的缺陷類型太多,所以使用規(guī)則式算法對(duì)檢測(cè)進(jìn)行編程是非常低效的。顯式搜索所有缺陷不但太復(fù)雜,而且費(fèi)時(shí)。

盈泰德科技的深度學(xué)習(xí)算法無(wú)需使用大量的缺陷庫(kù),可進(jìn)行大部分半導(dǎo)體缺陷檢測(cè),從而提高產(chǎn)量,降低成本。

如:

集成電路引線外觀缺陷檢測(cè)

半導(dǎo)體產(chǎn)品外觀檢測(cè)視覺(jué)解決方案-機(jī)器視覺(jué)_視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備_3D視覺(jué)_缺陷檢測(cè)

 

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè),分析每個(gè)晶圓層的缺陷和其他不需要的異常

半導(dǎo)體產(chǎn)品外觀檢測(cè)視覺(jué)解決方案-機(jī)器視覺(jué)_視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備_3D視覺(jué)_缺陷檢測(cè)

盈泰德科技的深度學(xué)習(xí)算法是解決此類復(fù)雜缺陷檢測(cè)問(wèn)題的較佳解決方案。缺陷檢測(cè)工具從功能晶片層的一小組圖像中學(xué)習(xí)無(wú)缺陷晶片層的外觀。

然后,該工具甚至可以檢測(cè)晶圓層中任何地方的小缺陷,完全忽略底層,并拒絕任何異常。

 

晶圓和晶片校準(zhǔn),準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)晶圓和晶片,確保可靠的性能

半導(dǎo)體產(chǎn)品外觀檢測(cè)視覺(jué)解決方案-機(jī)器視覺(jué)_視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備_3D視覺(jué)_缺陷檢測(cè)

無(wú)論是在光刻工藝、晶圓探測(cè)和測(cè)試,還是晶圓安裝和切割過(guò)程中,視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)不良都會(huì)在機(jī)器的整個(gè)使用壽命期間造成數(shù)以千計(jì)的協(xié)助和損壞的晶圓。表現(xiàn)不佳的視覺(jué)系統(tǒng)會(huì)降低半導(dǎo)體設(shè)備公司的市場(chǎng)份額,并大大增加其支持成本。

 

晶圓切口檢測(cè),在狹窄的空間內(nèi)保持半導(dǎo)體晶圓的精確對(duì)準(zhǔn)

半導(dǎo)體產(chǎn)品外觀檢測(cè)視覺(jué)解決方案-機(jī)器視覺(jué)_視覺(jué)檢測(cè)設(shè)備_3D視覺(jué)_缺陷檢測(cè)

尋找缺口的傳統(tǒng)方法是使用通光束陣列激光傳感器,這需要在晶圓上方和下方安裝笨重的發(fā)射器和接收器。這會(huì)占用寶貴的機(jī)械空間,并且因?yàn)樾枰A一直旋轉(zhuǎn)到發(fā)現(xiàn)切口,所以會(huì)浪費(fèi)時(shí)間。隨著透明晶圓 (SiC) 和其他特殊晶圓涂層的推出,通光束傳感器變得更難準(zhǔn)確地找到切口,提高了未對(duì)準(zhǔn)的幾率。

同類的瑕疵以及缺陷還有很多,每個(gè)制造商的需求也不一樣,這里就不詳細(xì)列出了,如果你的工業(yè)生產(chǎn)線中,也用得上機(jī)器視覺(jué)方面的技術(shù),來(lái)提升你的產(chǎn)品出廠質(zhì)量,那么不妨和我們盈泰德科技聊聊,我們會(huì)先根據(jù)你的需求分析,從一個(gè)專業(yè)的角度來(lái)給一個(gè)合適你的方案,然后再聽(tīng)取你的意見(jiàn),再詳細(xì)洽談,最后即使沒(méi)能達(dá)成合作,我們也希望能多認(rèn)識(shí)個(gè)朋友。