2021-5-7 行業(yè)技術(shù) 精密位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)介紹 任何位移臺(tái)都有 6 個(gè)自由度:3 個(gè)分別沿著 x、y、z 軸方向的平移自由度,另外 3 個(gè)則是圍繞 …